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    特色工艺

逻辑技术

工艺平台:

积塔通过技术授权和自主研发,可开发从90nm到28nm逻辑工艺,通过加入特定IP和特殊工艺可以涵盖BCD、HVCMOS、MCU 、eflash 、Iot Memory 等集成电路产品,广泛应用于电源管理、显示驱动、LED照明、汽车电子、摄像头模组、消费级电子等领域。

技术开发路线:

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40nm工艺平台:

技术简介:

积塔半导体通过技术授权的模式,拥有1.1V/2.5V工艺,且通过自研集成5V 40nm Low Power技术平台,以满足市场的设计要求。


工艺技术特点:

l  CMOS硅衬底晶向<100>

l  氮化栅绝缘氧化层/多晶硅栅极

l  193纳米(NA =1.2)浸入式光刻技术

l  先进尖峰退火技术 (使用激光作为热源)

l  工艺带来的应力过程

ü  拉引力的浅沟道绝缘(STI)填充技术

ü  应力记忆技术(SMT)

ü  拉应力的接触孔蚀刻停止层 (CESL)

l  镍硅合金工艺降低接触电阻

l  铜互联&超低介电常数介质 (K=2.55)

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平台开发现状:

积塔40纳米逻辑平台器件提供:

l  核心组件电压 1.1V,涵盖三种不同的阈值电压;

l  输入/输出组件 2.5V电压 (超载3.3V, 低载 1.8V) 以及 5V IO 以满足不同的设计要求;

l  提供 Single port high density/ Single port high current / 2 port / dual port 四种结构静态存储器

l  Passive 提供Poly/AA/Metal 各类型电阻,同时提供三极管,二极管,电容等器件。

l  其他包括ESD(5V)Device以及efuseanti-fuse等。

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工艺能力:

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产品应用:

l  应用领域:

l  通过精确控制车灯开关,亮度等,提高行车安全;

l  用于驱动电机,实现汽车的动力输出和转向控制;

l  管理汽车门窗座椅,空调等系统,提升乘坐的舒适性和便利性;

l  显示车速,油耗,水温等关键信息,为驾驶员出行提供准确的车辆系统信息;

l  集成音响,导航,视频等娱乐功能,提升驾驶乐趣和乘坐体验;

l  AI 智驾降低交通拥堵,提高出行效率和驾驶安全。

l  车载通信,远程信息处理系统等。

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65nm/55nm工艺平台:

技术简介

    65nm/55nm标准逻辑制程提供低功耗(LP)器件平台,核心组件电压1.2V,拥有涵盖三种不同阈值电压、输入/输出器件 5V电压,以满足市场的设计要求。


特点

    核心元件电压:1.2V

    低k介质(3.0)和Cu的后端互连集成技术

    镍化硅制程(NiPt)

    输入/输出电压:5V


应用产品

    积塔65nm/55nm混合信号制程,具有低功耗的特性,主要应用于车载芯片、电源管理、驱动等场景。

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